클린룸
클린룸 : 약 200평, Class 1,000
주요장비 : 반도체공정 및 분석장비 약 30여종
PECVD
RTP
Mask Aligner
LPCVD
Furnace
Etcher
PVD
Track
Wet station
클린룸
클린룸 : 약 200평, Class 1,000
주요장비 : 반도체공정 및 분석장비 약 30여종
PECVD
RTP
Mask Aligner
LPCVD
Furnace
Etcher
PVD
Track
Wet station