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 반도체장비기술교육센터

시설및장비안내

INSTITUTION

클린룸

클린룸 : 약 200평, Class 1,000

주요장비 : 반도체공정 및 분석장비 약 30여종

PECVD

RTP

Mask Aligner

LPCVD

Furnace

Etcher

PVD

Track

Wet station