S emiconductor   E quipment
T echnology   E ducation   C enter
반도체장비기술교육센터

클린룸

클린룸 : 약 200평, Class 1,000

주요장비 : 반도체공정 및 분석장비 약 30여종

PECVD

RTP

Mask Aligner

LPCVD

Furnace

Etcher

PVD

Track

Wet station