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5ÀÏ
(33hr)
21~25
(1Â÷)
21~25
(2Â÷)
18~22
(3Â÷)
16~20
(4Â÷)
13~17
(5Â÷)
11~15
(6Â÷)
8/29~9/2
(7Â÷)
19~23
(8Â÷)
17~21
(9Â÷)
14~18
(10Â÷)
¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½Ç½À 1ÀÏ
(7hr)
12,26 9 2,16 13,27 11,25 8,22 6,22 10,24 14,28 12,26 9,23 14,28
¹ÝµµÃ¼½Ç¹«I 5ÀÏ
(30hr)
3/28~4/1
(1Â÷)
20~24
(2Â÷)
21~25
(3Â÷)
¹ÝµµÃ¼½Ç¹«II 3ÀÏ
(22hr)
2~4
(1Â÷)
9~11
(2Â÷)
ÆòÆÇµð½ºÇ÷¹ÀÌ 4ÀÏ
(26hr)
14~17
(1Â÷)
23~26
(2Â÷)
4~7
(3Â÷)
ÇöóÁ±â¼ú 4ÀÏ
(26hr)
4~7
(1Â÷)
27~30
(2Â÷)
5~8
(3Â÷)
ÀåºñÁø°ø±â¼ú 4ÀÏ
(26hr)
11~14
(1Â÷)
4~7
(2Â÷)
13~16
(3Â÷)
¹ÝµµÃ¼ÀåºñÅë½Å±â¼ú 3ÀÏ
(22hr)
25~27
(1Â÷)
24~26
(2Â÷)
23~25
(3Â÷)
Dry Etcher±â¼ú 3ÀÏ
(20hr)
25~27
(1Â÷)
12~14
(2Â÷)
PECVD/ALD±â¼ú 3ÀÏ
(19hr)
8~10
(1Â÷)
11/30~12/2
(2Â÷)
¹ÝµµÃ¼ÁýÀûÈ­ 3ÀÏ
(18hr)
27~29
(1Â÷)
6~8
(2Â÷)
26~28
(3Â÷)
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¡Ú ÀÛ¼ºÀÏÀÚ : 2021.12.28
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