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±â°£ (hr) |
1 JAN |
2 FEB |
3 MAR |
4 APR |
5 MAY |
6 JUN |
7 JUL |
8 AUG |
9 SEP |
10 OCT |
11 NOV |
12 DEC |
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¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ (±¸ ¹ÝµµÃ¼±âÃÊ) |
5ÀÏ (33hr) |
21~25 (1Â÷) |
21~25 (2Â÷) |
18~22 (3Â÷) |
16~20 (4Â÷) |
13~17 (5Â÷) |
11~15 (6Â÷) |
8/29~9/2 (7Â÷) |
19~23 (8Â÷) |
17~21 (9Â÷) |
14~18 (10Â÷) |
||
¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½Ç½À | 1ÀÏ (7hr) |
12,26 | 9 | 2,16 | 13,27 | 11,25 | 8,22 | 6,22 | 10,24 | 14,28 | 12,26 | 9,23 | 14,28 |
¹ÝµµÃ¼½Ç¹«I | 5ÀÏ (30hr) |
3/28~4/1 (1Â÷) |
20~24 (2Â÷) |
21~25 (3Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼½Ç¹«II | 3ÀÏ (22hr) |
2~4 (1Â÷) |
9~11 (2Â÷) |
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ÆòÆÇµð½ºÇ÷¹ÀÌ | 4ÀÏ (26hr) |
14~17 (1Â÷) |
23~26 (2Â÷) |
4~7 (3Â÷) |
|||||||||
ÇöóÁ±â¼ú | 4ÀÏ (26hr) |
4~7 (1Â÷) |
27~30 (2Â÷) |
5~8 (3Â÷) |
|||||||||
ÀåºñÁø°ø±â¼ú | 4ÀÏ (26hr) |
11~14 (1Â÷) |
4~7 (2Â÷) |
13~16 (3Â÷) |
|||||||||
¹ÝµµÃ¼ÀåºñÅë½Å±â¼ú | 3ÀÏ (22hr) |
25~27 (1Â÷) |
24~26 (2Â÷) |
23~25 (3Â÷) |
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Dry Etcher±â¼ú | 3ÀÏ (20hr) |
25~27 (1Â÷) |
12~14 (2Â÷) |
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PECVD/ALD±â¼ú | 3ÀÏ (19hr) |
8~10 (1Â÷) |
11/30~12/2 (2Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼ÁýÀûÈ | 3ÀÏ (18hr) |
27~29 (1Â÷) |
6~8 (2Â÷) |
26~28 (3Â÷) |
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¡Ú COVID-19 ¿¹¹æÀ» À§ÇÏ¿© ÀϽÃÀûÀ¸·Î Àüü ±³À° Á¤¿ø 25¸íÀ¸·Î Ãà¼ÒÇÏ¿© ÁøÇà.(Á¼®¶ç¾î¾É±â ½Ç½Ã) | |||||||||||||
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¡Ú ÀÛ¼ºÀÏÀÚ : 2021.12.28 | |||||||||||||
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