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±â°£ (hr) |
1 JAN |
2 FEB |
3 MAR |
4 APR |
5 MAY |
6 JUN |
7 JUL |
8 AUG |
9 SEP |
10 OCT |
11 NOV |
12 DEC |
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¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ | 5ÀÏ (33hr) |
20~24 (1Â÷) |
20~24 (2Â÷) |
17~21 (3Â÷) |
15~19 (4Â÷) |
12~16 (5Â÷) |
10~14 (6Â÷) |
21~25 (7Â÷) |
18~22 (8Â÷) |
16~20 (9Â÷) |
13~17 (10Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½Ç½À | 1ÀÏ (7hr) |
27 | 3,15 | 9,30 | 10,27 | 11,25 | 8,22 | 5,26 | 9,29 | 12 | 12,26 | 9,23 | 7,21 |
¹ÝµµÃ¼½Ç¹«I | 5ÀÏ (30hr) |
6~10 (1Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼½Ç¹«II | 3ÀÏ (22hr) |
13~15 (1Â÷) |
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ÆòÆÇµð½ºÇ÷¹ÀÌ | 4ÀÏ (26hr) |
4~7 (1Â÷) |
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ÀåºñÁø°ø±â¼ú | 4ÀÏ (26hr) |
10~13 (1Â÷) |
3~6 (2Â÷) |
11~14 (3Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼ÀåºñÅë½Å±â¼ú | 3ÀÏ (22hr) |
5/31~6/2 (1Â÷) |
8/30~9/1 (2Â÷) |
11/29~12/1 (3Â÷) |
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Dry Etcher±â¼ú | 3ÀÏ (20hr) |
24~26 (1Â÷) |
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PECVD/ALD±â¼ú | 3ÀÏ (19hr) |
8~10 (1Â÷) |
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¹ÝµµÃ¼ÁýÀûÈ | 3ÀÏ (18hr) |
26~28 (1Â÷) |
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¡Ú »ó±âÀÇ ÀÏÁ¤ ¹× ±³À°ºñ´Â º¯°æ µÉ ¼ö ÀÖÀ½. | |||||||||||||
¡Ú [°í¿ë³ëµ¿ºÎ-»ç¾÷ÁÖ Á÷¾÷´É·Â°³¹ßÈÆ·Ã Áö¿ø»ç¾÷]¿¡ ÀÇÇØ ÀÎÁ¤¹ÞÀº ±³À°°úÁ¤À¸·Î ±³À°ºñ ÀϺθ¦ ȯ±Þ. (¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½Ç½À°úÁ¤, ¹ÝµµÃ¼ÁýÀûȰúÁ¤ Á¦¿Ü) |
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¡Ú ÀÛ¼ºÀÏÀÚ : 2023.08.25 | |||||||||||||
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